真空干燥箱適用于電子產品生產過程的脫泡、脫水、硬化和潔凈處理后的干燥等真空狀態環境下的熱處理，特別適合于對干燥熱敏性、易分解、易氧化物質和復雜成分物品進行快速的干燥處理。廣泛應用于鋰電子電池、LED光電元器件、晶振等電子產品以及生物化學、化工制藥、醫療、農業、環保等研究應用領域。
一般的電熱鼓風干燥箱均設有溫度均勻度參數：自然對流式的干燥箱為工作溫度上限乘3%，強制對流式的干燥箱為工作溫度上限乘2.5%。惟獨真空干燥箱不設溫度均勻度參數，這是為什么？
真空干燥箱內依靠氣體分子運動使工作室溫度達到均勻的可能性幾乎已經沒有了。因此，從概念上我們就不能再把通常電熱鼓風干燥箱所規定的溫度均勻度定義用到真空干燥箱上來。
在真空狀態下設這個指標也是沒有意義的。熱輻射的量與距離的平方成反比。同一個物體，距離加熱壁20cm處所接受的輻射熱只是距離加熱壁10cm處的1/4。差異很大。這種現象與冬天曬太陽時，曬到太陽的一面很暖和，曬不到太陽的一面比較冷是一個道理。由于真空干燥箱在結構上很難做到使工作室三維空間內的各點（園球面）輻射熱的均勻一致，同時也缺乏的評估方法，這有可能是真空干燥箱標準中不設溫度均勻度參數的原因。